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  • 오로스테크놀로지, 中 반도체 기업에 오버레이 계측장비 공급 2022-02-09 | HelloT
  • 중국 반도체 시장, 정부 지원으로 가파른 성장에 힘입어 중화권 매출 확장 기대



    오로스테크놀로지가 중국의 주요 메모리 업체에 최근 오버레이 계측장비 공급을 완료했다. 이는 작년 전망했던 ''22년 30%까지 해외 매출 비중 확대 예측''이 가시화하는 성과를 달성한 셈이다.


    오버레이 계측장비는 웨이퍼 상부층과 하부층의 전자회로 패턴이 정확하게 정렬되는지 측정하는 장비다. 패턴 간의 오차를 나노미터 단위로 검사하고 노광기 위치를 보정해 반도체 수율에 직접적인 영향을 미친다. 기술 난이도가 높아 현재 오버레이 계측장비를 양산하는 기업은 국내로는 오로스테크놀로지가 유일하고, KLA, ASML 등이 주요 해외 기업이다.
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